1. Nombre de chambres : de 3 à 7.
2. Taille des substrats :
largeur - 3000 mm
longueur - 4000 mm
3. Nombre de magnétrons : de 2 à 7.
4. Nombre de sources d'ions : de 1 à 3.
5. Temps de cycle : 60 secondes.
6. Puissance d’alimentation du magnétron : de 10 à 70 kW
Légende:
1. Elément de chauffage-
2, 3, 5, 7, 9. Chambre
4. Source d'ions
6,8. Magnétrons
10. Produit
11, 12. Bloc d’alimentation
13. Bloc de contrôle
14. Système de vide primaire
15. Système à haute dépression
16. Système de gestion
17. Porte
I - V. Chambres