1. Dimensions des chambres :
• Diamètre, de 700 à 1500 mm
• Hauteur ou longueur, de 800 à 1500 mm
• Chambre à vide verticale.
2. Des pompes cryogéniques et turbomoléculaires sont utilisées en complément des moyens traditionnels de pompage.
3. L'équipement industriel peut être fourni avec un moteur de rotation inférieur ou supérieur, avec un dôme interchangeable, au mouvement planétaire
4. Sources technologiques:
• évaporateurs à faisceau d'électrons
• sources de gaz d'ions
• évaporateurs résistifs avec jauge de substance pulvérisée
• Source de magnétron.
5. Les blocs d’alimentation et de contrôle comportent des pièces importées du Royaume-Uni, d’Allemagne, du Japon et des Etats-Unis.
L’installation sous vide assure le déroulement du processus de fabrication en mode automatique, avec affichage de l’ensemble des paramètres sur l’écran de l’ordinateur.